南方网讯 干式真空泵技术为我国半导体集成电路全产业链国产化的贯通奠定了重要基础；首台BNCT设备在东莞市人民医院落地，预计于明年底投入使用......11月15日至19日，第二十五届中国国际高新技术成果交易会在深圳举行，中国科学院控股有限公司（简称“国科控股”）携百余项创新产品和科技成果转化项目惊艳亮相。
加速推动半导体集成电路全产业链国产化
“这个产品能解决我们半导体集成电路全产业链的国产化。”在国科控股展区，一款领先的芯片制造核心零部件“干式真空泵”引起广泛关注。
据了解，该款干式真空泵由中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（简称“沈阳科仪”）研发，广泛应用于拉晶、光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入等半导体关键制造设备。沈阳科仪赵崇凌研究员介绍，芯片的制造流程接近20个，大部分流程都需要用到干式真空泵，它是其中的一个核心部件，具有洁净无油、稳定可靠、效率高、能耗低、性能稳定、运行成本低等诸多优势。目前，沈阳科仪已与国内外多个代表性芯片制造企业合作，装机数量超过2万台。
赵崇凌研究员介绍创新产品 邹长森/摄
“在国际上，我国干式真空泵技术在前些年还处于‘跟跑’状态，现在已经实现了‘并跑’。干式真空泵技术打破了欧美及日韩企业对同类产品的长期垄断地位，保证了国家战略性产业关键核心部件供应链的稳定，解决了‘卡脖子’问题，同时也为全产业链国产化的贯通奠定了重要基础。”赵崇凌表示，“不仅如此，我们每年还要从销售收入里面拿出10%投入研发，持续推动技术升级，开展干式真空泵的关键技术攻关，不断冲破技术壁垒。”
体内埋“雷”摧毁癌细胞 首台BNCT临床设备明年在莞启用
科技创新的关键一环是成果转化应用，要聚焦经济主战场，致力于为民服务。在国科控股展区，我们惊喜地发现，众多科研成果已经落地开花，进入“丰收季”。
“硼中子俘获治疗（BNCT）是一种新兴的二元、靶向、细胞级的肿瘤治疗方法。它的作用原理就是在人体内注入硼药，这种硼药就好比派出去的‘工兵’，主动去癌细胞周围埋‘地雷’，这些‘地雷’在BNCT设备产生的中子照射下，一旦遇到中子即可引发只有1-2个细胞尺度的‘核爆炸’来摧毁癌细胞，对其他正常的组织细胞损伤极小。”国科中子医疗科技有限公司工作人员介绍，该装备性能已达到世界领先水平，填补了高端医疗器械国产化的多项空白，对于提升我国肿瘤诊疗手段和水平具有重大意义。
东莞市人民医院硼中子俘获治疗（BNCT）设备组装模型 邹长森/摄
据悉，BNCT设备是由国科控股依托散裂中子源大科学装置科研成果，推动实现的产业化成果。2022年，国科中子在东莞市人民医院落地了首台BNCT临床设备，打造成为重点示范项目。目前，该设备正在进行总装联调，将在2024年上半年开展临床试验，并预计于明年底投入使用。
国科控股展区还展示了国内首台高分辨率场发射枪扫描电子显微镜，重大会议上使用的电子票箱、表决器和报到机等创新技术产品及最新产业化成果。
国科控股党委常委、副总经理刘荣光表示，“当前，新一轮科技革命和产业变革加速演进，科技创新和自主可控将成为未来产业发展的大趋势。国科控股作为中国科学院经营性国有资产的管理和运营平台，将围绕中国科学院各科研院所的重大科技成果转化，聚焦科技创新产业链条，搭建助力科技成果转化及其产业化的生态系统，培育战略性新兴产业，为科技成果转化和产业化发展作出独特的、应有的贡献。”
