了解了光刻机,你现在必须知道OLED的真空蒸镀机(关注日韩战必读) 本文解读:1、什么是真

文章正文
发布时间:2024-11-05 20:18

在芯片制造领域,光刻机是至关重要的一个设备,没有先进的光刻机,就无法生产先进的芯片。但偏偏这么重要的一个设备,却由荷兰的ASML垄断着,只有它能够生产出最为高端的光刻机,售价过亿美元。而且不是有钱就可以买到,订货了2,3年后才能拿到货。此前已经科普过光刻机: 网页链接

1、什么是真空蒸镀机

OLED的生产环节主要包括五大步骤,分别是LTPS、蒸镀、封装、单元、模块。其中,蒸镀是至关重要的一步,简单说就是在玻璃基板上“蒸”出包括红、绿、蓝三色的有机发光层。

蒸镀需要在专门的真空蒸镀机中完成。可是,全世界能够生产高质量真空蒸镀机的企业,只有日本佳能旗下的TOKKI这一家公司。TOKKI公司只有300多名员工,一年只生产十几台真空蒸镀机,每台的售价大约是8500万美元。(只是比光刻机便宜一点而已)Canon Tokki原本的年产能3~4台蒸镀机,直到2017年扩充产能,年产能拉高到7台, 2018年Canon Tokki蒸镀机规划出货量为11台。

蒸镀是OLED制造工艺的关键,直接影响着OLED屏幕显示,蒸镀机的工作就是把OLED有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到基板上。

OLED显示面板中大量应用的有机材料极易受到氧气和水的影响,有机材料间也很容易造成污染,因此,面板的蒸镀一般都是在真空环境下且相互独立进行。

通过电流加热,电子束轰击加热和激光加热等方法,使被蒸材料蒸发成原子或分子,它们即以较大的自由程作直线运动,碰撞基片表面而凝结,形成薄膜,这个过程就是真空蒸镀。

通俗地说:OLED屏幕每个像素都是蒸上去的,除了发光材料,金属电极等也是这样蒸上去的,实际操作非常复杂。Canon Tokki能把有机发光材料蒸镀到基板上的误差控制在5微米内,这是什么概念?1微米相当于头发直径的1%。没有其他公司的蒸镀机能达到这个精准度。

潜心于一个领域20余年,让Canon Tokki拥有不少专利,比如,它很早就将机器视觉应用在设备上。生产环节中,对准玻璃基板和用作像素模板的细金属网难度很大,利用摄像头追踪,Canon Tokki可将误差范围缩小到人体红细胞大小。

买到Canon Tokki的设备就如同得到了一张生产OLED面板的“入场券”,Canon Tokki在业内的名声很像顶级光刻机企业ASML,神一样的存在。据说京东方在2016年OLED产线刚刚启动的时候,就向TOKKI订购了几台真空蒸镀机,这才保证了两年后AMOLED柔性屏的大规模量产。

到了2017年,随着苹果推出iPhone X并向三星大规模采购AMOLED柔性屏,三星也制订了大规模的扩产计划,不仅将A3、A4工厂投产AMOLED柔性屏,还建设了规模更大的A5工厂。为了保证量产,财大气粗的三星一口气把TOKKI两年的真空蒸镀机全部承包了。(因为在OLED产业蛰伏期,Tokki遭逢破产危机时,三星依然全力扶持,这种患难情谊让三星一度独家拿下Canon Tokki的全部产量。)Canon Tokki和三星有独家协议,要等三星买剩下后,才会供应给中国等厂商

也就是没有TOKKI的真空蒸镀机,量产也就无从谈起。是否真的如此?蒸镀设备厂商不止一家,Canon Tokki为什么一机难求?因为它量产稳定与技术成熟的优势无人可比。

有中国OLED公司为了抢时间,采购了另一家日本公司爱发科(ULVAC,也被称为“尖端真空技术公司”)的真空蒸镀机。没想到虽然爱发科被称作“尖端真空技术公司”,但是其生产的真空蒸镀机的质量却远远不如TOKKI。拿到生产线上,只要承载面一大,玻璃就直接碎片,而这还没开始“蒸”呢。玻璃一碎,就得重新清洗,重新投片,根本就无法量产。

但现在有可能发生变化。详细看第3点


2、为啥京东方近期大涨,机构大幅买入

据最新的数据显示,2019年一季度,在OLED领域三星占到了85.7%左右的份额,而第二大厂商京东方只有5.9%左右的份额,和三星的差距还非常大的。

而一旦蒸镀机被制裁了,那么三星就真的危险了,意味着三星的OLED屏要保持垄断地位,可能就难了,地位或会被$京东方A(SZ000725)$ 等厂商取代掉。那么现在的京东方就是向三星对标,市场占有率的有极大的提升空间,这是京东方上涨最简单明了的大逻辑。


3、日韩战对我们还有什么机会?

日韩战刚开始的时候,写的网页链接,详细分析了,光刻胶--氟化工--金刚线--内存 等板块的挖掘,都成功埋伏。那接下来还有什么机会?

近日传出消息,继日本对韩国的半导体材料氟聚酰亚胺、光刻胶、高纯度氟化氢进行限制出口之后,日本接下来将扩大限制范围,或会覆盖到半导体和面板制造设备,其中像蒸镀机就非常有可能会被列入其中。

日韩现在发展到什么程度呢?应该说越来越紧张。看最近消息:

一旦日韩矛盾激化,之前活跃过的氟化氢题材或者光刻胶题材等都有可能再度活跃。

国内在精密设备这块,应该还是短板,比如在手机厂商的生产线,虽然最后端的组装是依靠人工,但是前端的主板生产和测试却一水的德国、日本、韩国进口设备。没办法,中国公司还造不出这么精密的设备。

OLED的生产难度在精密制造,精密制造的技术壁垒在精密设备。国内OLED大型生产线装备虽仍一片空白,但OLED科研型蒸镀设备已达国际水平,中试型生产装备已成功研发。只能说在路上。

中国大陆AMOLED主流厂商及所采用蒸镀设备一览(2018年)

蒸镀设备目前国内使用的除了tokki,还有SUNIC、SFA和ULVAC。这也是目前全球主要的AMOLED量产线的设备企业。其实还有AKT也在推出自己的蒸镀设备,目前在等JDI认证。蒸镀设备企业也不少,但是蒸镀设备里面的门道很深,并不是copy就可以了。这5家设备中其中两家sunic和sfa都是韩国的,也是在三星的培养下,从TOKKI的设备上copy出来的企业,在三星大力支持下SFA和SUNIC在tokki产能不足和价格高昂的情况下,分到了一杯羹。当然国内也有企业在做,不过都是试验线设备而且差距很大。

新技术:喷黑打印来生产OLED屏,又是京东方。

OLED面板的制造有两种方式,一种称为蒸镀,一种称为印刷(喷墨打印)。其中印刷方式对原料利用更为高效,能够有效降低制造成本,但是该技术尚不成熟,之前一直处于研发试产,如果能够达到量产级成熟度,将引发大尺寸OLED面板市场的新纪元,中日韩众多显示制造企业都在潜心寻求突破。18年年底,中国显示制造龙头京东方(BOE)宣布成功研制中国首款采用喷墨打印技术的55英寸4K OLED显示屏,成为相关领域一项重要突破。当然现在没有实现量产,预计要到2020年才会有成品上市。

曾经有新闻说:

柔宇全球最薄OLED投产,自研蒸镀机,打破日本技术龚断!据说走的路线和日本的不一样,不过目前依旧没声音,估计量产挺难的。

集萃光电的二代OLED蒸镀设备下半年面世,也是在路上。


$多氟多(SZ002407)$ $强力新材(SZ300429)$